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真空搬送ロボット(ガラス 搬送) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

真空搬送ロボットの製品一覧

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3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他産業用ロボット
  • 真空搬送ロボット

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【カタログ無料進呈】『半導体ウェハー・ガラス基板搬送用ロボット』

<高精度・高速性・高剛性>大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております!

当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(~450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(~G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(~450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(~450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(~G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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